Orientação de Lingotes/Bolachas
Para orientação de bolachas e lingotes monocristalinos
Sistemas de orientação ultraprecisa XRD 3003 I/W para lingotes e bolachas brutos e moídos. Os sistemas de orientação XRD 3003 I/W completamente automáticos podem ser integrados e adaptados a linhas de produção de semicondutores de clientes.
Características
- Configuração de eixo mecânico de rotação de lingote. Orientação automática por Raio X de lingote para ângulo fora do eixo especificado pelo cliente
- Determinação e marcação de posição plana/de fenda. Controlar medição de orientação por raio X e medição a laser de posição plana/de fenda para lingote moído
- Minimização de resíduos de material por sistema óptico 3D a laser
- Software industrial especial para controle, análise, documentação de resultados e armazenamento de dados de sistemas integra todas as etapas da linha de produção do cliente.
Aplicações
- Si, SiC, GaAs, CaF2, SiO2,...
- Orientações: 100, 110, 111, 511,... orientação fora do eixo <=15°
- Tamanho do lingote <= 300 mm (12 pol.) de diâmetro, <= 500 mm de comprimento
- Bolachas <= 300 mm (12 pol.) de diâmetro