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XRD 3003 PTS-HR

Resteigenspannungsanalyse

XRD 3003 PTS-HR ist ein spezielles 4-Kreis-Diffraktometersystem, das für die Durchführung von Phasen-, Textur- und Resteigenspannungsanalysen in einem einzigen System konzipiert wurde. Die beiden zusätzlichen Kreise ermöglichen die orientierte Positionierung von Proben im realen Raum.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Merkmale

Wichtige Funktionen und Vorteile

  • XRD 3003 PTS-Konfiguration mit zusätzlicher Ausstattung für Hochauflösung: Goniometer: ohne Rückstrahlung, min. Schrittgröße: 0,0001° Reproduzierbarkeit:+/-0,0001°

Anwendungen

  • Hochauflösende Röntgendiffraktion für die Untersuchung von Einkristallsubstratmaterialien, Epitaxieschichten und anderen dünnen Schichten, Rockingkurven, Reciprocal Space Mapping (RSM)
  • In-Plane-GID, GISAXS
  • Reflektometrie
  • Kunden in der Halbleiterindustrie, im Bereich Optik, in der Physik und in der Materialforschung

Technische Daten

Zweikreis-Goniometer MZ VI E

Min. Schrittgröße 0,0005° (optional 0,0001°)
Reproduzierbarkeit ±0,0003° (optional ±0,0001°)
Bereiche -3° ≤ Omega ≤ 182° und -3° ≤ Theta ≤ 169°

TS-3 Goniometer

Max. Last 5 kg
Maximaler Platz für Probe und Befestigung 220 mm (Breite) x 100 mm (Tiefe)
Kippachse Chi - Min. Schrittgröße: 0.0005°
- Reproduzierbarkeit: ±0.0003°
- Bereich: -90° ≤ Chi ≤ +90°
Rotationsachse Phi - Min. Schrittgröße: 0.002°
- Reproduzierbarkeit: ±0.001°
- Bereich: n x 360°
Translationsachse Z - Min. Schrittgröße: 0,001 mm
- Bereich: 25 mm
X/Y-Achse - Min. Schrittgröße: 0,01 mm
- Bereich: 50 mm x 50 mm
- Max. Last: 2,5 kg

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Corrosion Erosion Brochure acrobat-reader acrobat-reader
Inspection Technologies Brochure acrobat-reader acrobat-reader acrobat-reader acrobat-reader
Rayflex Reciprocal Space Mapping Brochure acrobat-reader
Rayflex Reflectivity Brochure acrobat-reader
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