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XRD 3003 HR double double

High Resolution Diffractometer

SEIFERT XRD 3003 HR double double ist ein hochauflösendes Diffraktometer für die Charakterisierung der Struktur von Substraten und Dünnfilmen. Neben typischen Anwendungen wie Rockingkurven, Reciprocal Space Mapping und Reflektrometrie beherrscht das System das "erweiterte Bond-Verfahren" zur Bestimmung hochpräziser Gitterparameter auch bei nichtkubischen Materialien. Mit demselben Versuchsaufbau ist der Doppel- und Dreifach-Reflektionsmodus möglich. Die Proben lassen sich mit Hilfe der zweistufigen Kippvorrichtung am 150 mm breiten X/Y-Tisch auf einfache Weise perfekt ausgerichten.

 

 

 

 

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Merkmale

  • Standard-Cu-Strahlquelle
  • Multilayer als Intensitätsverstärker
  • Channel-Cut-Monochromator und -Analysator
  • Eulerwiege mit X, Y, Z, Chi, Phi
  • Szintillationszähler
  • Doppel-Kipptisch für Probenausrichtung
  • Vollständiges Mapping von 6-Zoll-Wafern
  • Standard-Strahlenschutzschrank
  • Leistungsfähiges RayfleX-Softwarepaket

Anwendungen

  • Erweitertes Bond-Verfahren für die hochpräzise Bestimmung von Gitterkonstanten
  • Rockingkurven
  • Reciprocal Space Mapping
  • Reflektometrie
  • Keine Beschränkung bei der Messung auch stark asymmetrischer Reflexionen, Chi-Kippung bis 90°
  • Doppel- und Dreifach-Reflektionsmodus
  • Channel-Cut-Monochromator mit Zweifach- und Vierfachreflexion, Ge220 und Ge440
  • Channel-Cut-Analysator mit Dreifachreflexion

Technische Daten

XRD 3003 HR Double Double

Strahlenschutzschrank Standard-Röntgenschrank nach der deutschen RöV
Röntgenausrüstung 2-60 kV, 2-80 mA, max. 3,5 kW, +/- 0,01% bei +/-10 % Netzspannungsschwankung
Röntgenröhre Cu-Glasröhre mit Strichfokus
Röntgenoptik Multilayer und Ge(110)-Channel-Cut-Kristalle
Probenmanipulator Eulerwiege mit Chi, Phi, X, Y und Z
Detektor Szintillationszähler

Zweikreis-Goniometer MZ VI E

Achsen Theta/Theta
Min. Schrittgröße 0.0001°
Reproduzierbarkeit ± 0.0001°
Omega-Bereich -5° bis +185°
2Theta-Bereich -140° bis +154°

Probenmanipulator

Kippachse Chi
Min. Schrittgröße 0.0005°
Reproduzierbarkeit ± 0.0003°
Bereich +90°/ -70°
Rotationsachse Phi
Min. Schrittgröße 0.0005°
Reproduzierbarkeit ± 0.0003°
Bereich n x 360°
Translationsachse Z
Min. Schrittgröße 0,001 mm
Reproduzierbarkeit ± 0,005 mm
Bereich 25 mm
X/Y-Tisch
Min. Schrittgröße 0,001 mm
Reproduzierbarkeit ± 0,005 mm
Bereich 150 mm

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