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Serie NPH Novasensor Festkörper-Mitteldruck

Mitteldruck-Drucksensoren

Ein Siliziumsensorchip mit integriertem Schaltkreis in einem Standardelektrogerätegehäuse vom Typ TO-8, das auf einer Leiterplatte montiert werden kann.

 

Die neuesten Verfahren der Mikrobearbeitung wurden verwendet, um die piezoresistiven Dehnmessstreifen per Ionenimplantation in eine Wheatstone-Brückenkonfiguration einzusetzen, die auf einer in Mikrotechnik gefertigten Siliziummembran ausgeformt wird. Wie alle Siliziumsensoren von NovaSensor arbeiten auch die Sensoren der Serie NPH mit SenStable® -Verarbeitungstechnik und bieten hervorragende Ausgangsstabilität. Konstante Sensoranregung mit Strom erzeugt eine Ausgangsspannung, die linear proportional zum Eingangsdruck ist.

 

Der Benutzer kann mithilfe von Standard-Signalaufbereitungsschaltkreisen das 100-mV-Ausgangssignal verstärken. Der Sensor ist mit den meisten nicht-korrosiven Gasen und Trockenluft kompatibel. Ein Dickfilm-Widerstandsnetzwerk mit Laserabgleich auf einem Hybrid-Keramiksubstrat sorgt für Temperaturausgleich.

Merkmale

  • Festkörperbauteil mit hoher Zuverlässigkeit
  • Standard-TO-8-Gehäuse, das auf einer PC-Karte montiert werden kann
  • Niedrige Kosten, geringe Größe
  • Verfügbar in Überdruck-, Absolutdruck- und Differenzdruckausführungen
  • Medienkompatibel mit nicht-korrosiven Gasen und Trockenluft
  • Typische FSO 100 mV @ 1,5 mA
  • Temperaturgenauigkeit FSO 0,4% typisch
  • Überdruckfähigkeit bis zum Fünffachen des maximalen Nenndrucks
  • Drei Standardbereiche: 15, 30 und 100 psi (1, 2 und 7 bar)
  • Nichtlinearität typisch 0,05 % FSO
  • Standarddruckanschluss mit 3/16-Zoll-Außendurchmesser
  • Keramiksubstrat mit Temperaturausgleichswiderständen

 

Anwendungen

  • Prozesssteuerung, Druck-Strom-Wandler
  • Pneumatische Steuerung
  • HVAC-Steuerung
  • Biomedizin: Infusionspumpen, Blutdruckmessgeräte, Beatmungsgeräte
  • Luftfahrt: Höhenmesser, Luftdruckmesser, Kabinendrucksensoren
  • Computer-Peripheriegeräte

Technische Daten

Ein Siliziumsensorchip mit integriertem Schaltkreis in einem Standardelektrogerätegehäuse vom Typ TO-8, das auf einer Leiterplatte montiert werden kann. Die neuesten Verfahren der Mikrobearbeitung wurden verwendet, um die piezoresistiven Dehnmessstreifen per Ionenimplantation in eine Wheatstone-Brückenkonfiguration einzusetzen, die auf einer in Mikrotechnik gefertigten Siliziummembran ausgeformt wird. Wie alle Siliziumsensoren von NovaSensor arbeiten auch die Sensoren der Serie NPH mit SenStable® -Verarbeitungstechnik und bieten hervorragende Ausgangsstabilität. Konstante Sensoranregung mit Strom erzeugt eine Ausgangsspannung, die linear proportional zum
Eingangsdruck ist.
Der Benutzer kann mithilfe von Standard-Signalaufbereitungsschaltkreisen das 100-mV-Ausgangssignal verstärken. Der Sensor ist mit den meisten nicht-korrosiven Gasen und Trockenluft kompatibel. Ein Dickfilm-Widerstandsnetzwerk mit Laserabgleich auf einem Hybrid-Keramiksubstrat sorgt für Temperaturausgleich.

NPH-Specs-1
NPH-med-Specs-Tb1

NPH-Specs-2

NPH-med-Specs-Tb2

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