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MEMS-Elemente/-Geräte

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MEMS-Elemente/-Geräte

Zu unseren kosteneffizienten MEMS-Lösungen gehören oberflächenmontierbare Druckensorpakete, komplett kalibrierte und verstärkte Ausführungen oder Ausführungen mit Digitalausgang und mediumisolierter Technologie für den Einsatz unter harten Umgebungsbedingungen.

MEMS-Elemente/-Geräte

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    P1602

    Der P1602 ist ein ultra-kleiner piezoresistiver Absolutdruck-Sensorchip aus Silizium.


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    P1302

    Der P1302 ist ein hochempfindlicher piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium, der besonders gut für die Messung von Niederdruck geeignet ist.


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    P161

    Der P161 ist ein ultra-kleiner piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium, der für die Überwachung von Katheterspitzen geeignet ist.


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    P112

    Der P112 ist ein universell einsetzbares piezoresistives Druckmesselement aus Silizium, das mit unserem patentierten SenStable®-Verfahren gefertigt wird.


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    P122

    Die piezoresistiven Drucksensoren des Typs P122 werden in einem Minichip der Größe 0,10" x 0,10" (2,5 mm x 2,5 mm) angeboten.


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    P562

    Der piezoresistive Drucksensor des Typs P562 wurde speziell für medizintechnische Anwendungen entwickelt.


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    P111

    Der P111 ist ein universell einsetzbares piezoresistives Druckmesselement aus Silizium, das mit unserem patentierten SenStable®-Verfahren gefertigt wird.


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    P1300

    Die piezoresistiven Drucksensoren des Typs NovaSensor P1300 werden in einem Minichip der Größe 2,7 mm x 3,2 mm angeboten.

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    P883

    Der P883 kann als Zubehör eines in Glassubstrat eingebundenen Sockels verwendet werden, der zur Abschirmung gegen thermische Belastungen und Spannung durch das Die-Attach dient.