Mehrlagenleiterplatten
Die Hauptanwendung der Röntgentechnik in der Fertigung von Mehrlagenleiterplatten ist die Messung des Lagenversatzes und der minimalen Restringbreite. Röntgenbilder in Schrägaufnahme ermöglichen durch die Visualisierung der einzelnen Schichten die Erkennung von Mängeln und Fehlern, z. B. durch Ätz- oder Layoutfehler verursachte Kurzschlüsse, fehlerhafte Leiterbahnen und mangelhafte Metallisierung der Kontaktlöcher.
Gallery
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Messung des Lagenversatzes und der Restringbreite mit Hilfe der phoenix|x-rays-Bildverarbeitungssoftware "quality|assurance”. |
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Durchmetallisierungen in Schrägansicht bei einem Detektorwinkel von 50°. Die Verbindungen aller 8 Schichten lassen sich deutlich unterscheiden. |
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Kurzschluss zwischen zwei Leiterbahnen, die sich durch einen Ätzfehler an der selben Stelle befinden |
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Fehlerhafte Durchmetallisierung in Schrägansicht bei einem Detektorwinkel von 50°. |
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Lasergebohrtes Mikro-Kontaktloch: Analyse von Wanddicke und Bohrqualität. Bohrdurchmesser 150 µm |